Anong mga kadahilanan ang makakaapekto sa pagganap ng patong ng vacuum coating machine?

Anong mga kadahilanan ang makakaapekto sa pagganap ng patong ng Vacuum coating machine ?

Kung nais ng isang vacuum coating machine na mag -coat ng isang mahusay na pelikula, dapat itong tiyakin na maraming mga kadahilanan ang nasa isang normal na estado, tulad ng vacuum coating, distansya ng target na base, temperatura ng pagsingaw, temperatura ng substrate, natitirang presyon ng gas at iba pang mga kadahilanan. Mayroong paglihis sa isang tiyak na kadahilanan. Makakaapekto ito sa pagganap ng layer ng patong ng vacuum coating machine. Ang sumusunod ay isang editor ng vacuum upang maipaliwanag nang detalyado kung anong mga kadahilanan ang makakaapekto sa pagganap ng patong ng vacuum coating machine. Inaasahan kong makakatulong ito sa iyo:

1. Rate ng pagsingaw

Ang laki ng rate ng pagsingaw ay may malaking impluwensya sa na -deposito na pelikula. Dahil ang istraktura ng patong na nabuo ng mababang rate ng pag -aalis ay maluwag at madaling magdeposito ng mga malalaking partikulo, upang matiyak ang pagiging compactness ng istraktura ng patong, ligtas na pumili ng isang mas mataas na rate ng pagsingaw. Kapag ang presyon ng natitirang gas sa vacuum chamber ay pare -pareho, ang rate ng pambobomba ng pagbomba ng substrate ay isang palaging halaga. Samakatuwid, pagkatapos pumili ng isang mas mataas na rate ng pag -aalis, ang natitirang gas na nakapaloob sa naideposito na pelikula ay mababawasan, sa gayon binabawasan ang reaksyon ng kemikal sa pagitan ng mga natitirang molekula ng gas at ang mga particle ng evaporated film material. Samakatuwid, ang kadalisayan ng na -deposito na pelikula ay maaaring mapabuti. Dapat pansinin na kung ang rate ng pag -aalis ay masyadong mataas, maaari itong dagdagan ang panloob na stress ng pelikula, na nagreresulta sa isang pagtaas ng mga depekto sa layer ng pelikula, at kahit na pag -crack ng layer ng pelikula sa mga malubhang kaso. Sa partikular, sa proseso ng reaktibo na pagsingaw, ang isang mas mababang rate ng pag -aalis ay maaaring mapili upang paganahin ang reaksyon ng gas at ang evaporated film material particle upang umepekto nang sapat. Siyempre, ang iba't ibang mga rate ng pagsingaw ay dapat gamitin para sa iba't ibang materyal na pagsingaw. Bilang isang praktikal na halimbawa ng kung paano ang isang mababang rate ng pag -aalis ay maaaring makaapekto sa pagganap ng isang pelikula ay ang pag -aalis ng isang mapanimdim na pelikula. Halimbawa, kapag ang kapal ng pelikula ay 600x10-8cm at ang oras ng pagsingaw ay 3s, ang pagmuni-muni ay 93%. Gayunpaman, kung ang rate ng pagsingaw ay pinabagal sa ilalim ng parehong kapal ng pelikula, tatagal ng 10 min upang makumpleto ang pag -aalis ng pelikula. Sa oras na ito, ang kapal ng pelikula ay pareho. Gayunpaman, ang pagmuni -muni ay bumaba sa 68%.

2. Temperatura ng substrate

Ang temperatura ng substrate ay mayroon ding malaking epekto sa evaporative coating. Ang mga natitirang molekula ng gas na na -adsorbed sa ibabaw ng substrate sa mataas na temperatura ng substrate ay madaling tinanggal. Sa partikular, ang pagbubukod ng mga molekula ng singaw ng tubig ay mas mahalaga. Bukod dito, hindi lamang madaling itaguyod ang paglipat mula sa pisikal na adsorption hanggang sa adsorption ng kemikal sa isang mas mataas na temperatura, sa gayon ay nadaragdagan ang lakas na nagbubuklod sa pagitan ng mga particle. Bukod dito, ang pagkakaiba sa pagitan ng temperatura ng recrystallization ng mga molekula ng singaw at ang temperatura ng substrate ay maaaring mabawasan, sa gayon mabawasan o alisin ang panloob na stress sa interface ng film-substrate. Bilang karagdagan, dahil ang temperatura ng substrate ay nauugnay sa mala -kristal na estado ng pelikula, ang amorphous o microcrystalline coatings ay may posibilidad na madaling mabuo sa ilalim ng mababa o walang mga kondisyon ng pag -init sa substrate. Sa kabaligtaran, kapag ang temperatura ay mas mataas, madali itong makabuo ng isang mala -kristal na patong. Ang pagtaas ng temperatura ng substrate ay kapaki -pakinabang din sa pagpapabuti ng mga mekanikal na katangian ng patong. Siyempre, ang temperatura ng substrate ay hindi dapat masyadong mataas upang maiwasan ang muling pagsusuri ng evaporated coating.

3. Impluwensya ng natitirang presyon ng gas sa silid ng vacuum sa pagganap ng pelikula

Ang presyon ng natitirang gas sa silid ng vacuum ay may malaking impluwensya sa pagganap ng lamad. Kung ang presyon ay masyadong mataas, ang mga natitirang molekula ng gas ay hindi lamang madaling mabangga sa mga evaporated particle, upang ang kinetic enerhiya ng mga taong bumaril sa substrate ay nabawasan, na nakakaapekto sa pagdirikit ng pelikula. Bukod dito, ang labis na tira na presyon ng gas ay seryosong nakakaapekto sa kadalisayan ng lamad at bawasan ang pagganap ng patong.

4. Ang epekto ng temperatura ng pagsingaw sa patong ng pagsingaw

Ang epekto ng temperatura ng pagsingaw sa pagganap ng pelikula ay ipinapakita ng rate ng pagsingaw bilang isang function ng temperatura. Kapag ang temperatura ng singaw ay mataas, ang init ng singaw ay bababa. Kung ang materyal ng pelikula ay sumingaw sa itaas ng temperatura ng pagsingaw, kahit na ang isang bahagyang pagbabago sa temperatura ay maaaring maging sanhi ng isang mabilis na pagbabago sa rate ng pagsingaw ng materyal ng pelikula. Samakatuwid, napakahalaga na tumpak na kontrolin ang temperatura ng pagsingaw sa panahon ng pag -aalis ng pelikula upang maiwasan ang isang malaking gradient ng temperatura kapag pinainit ang mapagkukunan ng pagsingaw. Para sa materyal ng pelikula na madaling masalimuot, ang materyal na pelikula mismo ay napili bilang pampainit, at ang mga hakbang tulad ng pagsingaw ay napakahalaga din. .

Ang nasa itaas na apat na aspeto ay ang mga karaniwang kadahilanan na nakakaapekto sa pagganap ng patong ng patong ng vacuum coating machine, at sila rin ang maginoo na nakakaimpluwensya na mga kadahilanan. Sa panahon ng proseso ng patong ng vacuum coating machine, kinakailangan upang matiyak na ang mga salik na ito ay nasa isang normal na estado.