Ang isang solidong ibabaw ay binomba ng mga masiglang particle

sputtering deposition

Pangunahing mga prinsipyo

Ang isang solidong ibabaw ay binomba ng mga masiglang particle (karaniwang mga positibong ion na pinabilis ng isang electric field). Ang sputtering ng mga atom at molekula sa solidong ibabaw pagkatapos ng pagpapalitan ng kinetic energy na may insidente na masiglang mga particle ay tinatawag na sputtering. Ang mga sputtered atoms (o kumpol) ay may isang tiyak na halaga ng enerhiya. Maaari silang muling mai-deposito at nakalaan sa ibabaw ng mga solidong substrate upang mabuo ang mga manipis na pelikula, na tinatawag na sputtering coatings. Tsina Plasma Coating Machine Supplier

Kung ikukumpara sa tradisyonal na pagsingaw ng vacuum, ang sputtering coating ay maraming mga pakinabang, tulad ng:

Ang pagdirikit sa pagitan ng pelikula at matrix ay malakas.

Maginhawa upang maghanda ng mga manipis na pelikula ng mga mataas na materyales sa pagtunaw.

Ang isang pantay na pelikula ay maaaring ihanda sa isang malaking lugar ng contact substrate.

Ang komposisyon ng pelikula ay madaling makontrol, at ang mga haluang metal na pelikula na may iba't ibang komposisyon at proporsyon ay maaaring ihanda.

Ang reaktibo na sputtering ay maaaring magamit upang maghanda ng iba't ibang mga tambalang pelikula, at ang mga multilayer films ay madaling ma -plate.

Madali para sa industriyalisadong produksiyon, tuluy -tuloy at awtomatikong operasyon, atbp