Pagtatasa ng karaniwang teknolohiya ng patong ng pagsingaw
1. Ang pagtutol ng paglaban sa kalupkop: Ang mapagkukunan ng paglaban sa pagsingaw ay ginagamit upang sumingaw ng mababang mga materyales sa pagtunaw ng punto, tulad ng ginto, pilak, zinc sulfide, magnesium fluoride, chromium trioxide, atbp.
2. Electron beam pagsingaw ng kalupkop : Matapos ang materyal ng pelikula ay singaw at evaporated ng pag -init ng beam ng elektron, ito ay nakalagay sa ibabaw ng substrate upang makabuo ng isang pelikula, na isang mahalagang pamamaraan ng pag -init sa teknolohiya ng pagsingaw ng vacuum.
Maraming uri ng naturang mga aparato. Sa malawak na aplikasyon ng manipis na teknolohiya ng pelikula, hindi lamang ang mga kinakailangan para sa mga uri ng lamad ay iba -iba, kundi pati na rin ang mga kinakailangan para sa kalidad ng mga lamad ay mas mahigpit.
Ang pagsingaw ng paglaban ay hindi na maaaring matugunan ang mga pangangailangan ng pagsingaw ng ilang mga metal at hindi metal. Ang mapagkukunan ng heat beam ng elektron ay maaaring makakuha ng isang mas malaking density ng enerhiya kaysa sa mapagkukunan ng init ng paglaban, at ang halaga ay maaaring umabot sa 104-109W/cm2, kaya ang pelikula ay maaaring pinainit sa 3000-6000C.
Nagbibigay ito ng isang mas mahusay na mapagkukunan ng init para sa pagsingaw ng mga refractory metal at mga di-metal na materyales tulad ng tungsten, molybdenum, germanium, SiO2, Ai2O3, atbp.
Bilang karagdagan, ang init ay maaaring direktang idinagdag sa ibabaw ng materyal ng pelikula, kaya mataas ang kahusayan ng thermal, at maliit ang pagkalugi ng init at init ng radiation.
3. ARC Pag -init ng Pag -aalaga ng Pag -init: Ang isang paraan ng pag -init na katulad ng paraan ng pag -init ng beam ng elektron ay ang paraan ng pag -init ng arc discharge. Mayroon din itong mga katangian ng pag -iwas sa kontaminasyon ng mga materyales sa pag -init ng paglaban o mga materyales na may crucible, at may mga katangian ng mataas na temperatura ng pag -init, lalo na ang angkop para sa pagsingaw ng mga refractory metal, grapayt, atbp na may mataas na punto ng pagtunaw at tiyak na kondaktibiti.
Kasabay nito, ang kagamitan na ginamit sa pamamaraang ito ay mas simple kaysa sa aparato ng pag -init ng beam ng elektron, kaya ito ay medyo murang aparato ng pagsingaw.
2
5. Mataas na dalas ng induction ng pagpainit ng pag-init ng pag-init: Gumamit ng prinsipyo ng pag-init ng induction upang mapainit ang metal sa temperatura ng pagsingaw.
Ang crucible na naglalaman ng materyal ng pelikula ay inilalagay sa gitna ng spiral coil, at ang isang kasalukuyang mataas na dalas ay ipinasa sa likid, upang ang materyal na metal film ay maaaring makabuo ng kasalukuyang upang mapainit ang sarili hanggang sa ito ay sumingaw.
Mga Tampok ng Induction Heating Evaporation Source:
1. Mataas na rate ng pagsingaw
2. Ang temperatura ng mapagkukunan ng pagsingaw ay pantay at matatag, at hindi madaling makagawa ng hindi pangkaraniwang bagay na pagbagsak ng aluminyo
3. Ang mapagkukunan ng pagsingaw ay sisingilin sa isang pagkakataon, walang mekanismo sa pagpapakain ng wire, ang kontrol sa temperatura ay medyo madali, at ang operasyon ay simple
4. Ang mga kinakailangan para sa kadalisayan ng materyal ng lamad ay bahagyang mas malawak.