Karaniwang kaalaman ng vacuum coating magnetron sputtering- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Karaniwang kaalaman ng vacuum coating magnetron sputtering

DC Pag -sputter ng Magnetron , RF magnetron sputtering, pulsed magnetron sputtering at medium fre2quency magnetron sputtering

Ang reaktibo na sputtering ay upang ipakilala ang isang tiyak na proporsyon ng reaktibo na gas sa kapaligiran ng gas na hindi gumagalaw sa sistema ng sputtering. Karaniwan, ang pangunahing reaktibo na gas ay oxygen at nitrogen.

Ang paraan ng pagdurusa ng DC ay ginagamit sa sputtering at reaktibo na sputtering coating kung saan ang sputtered material ay isang conductive material, at ang kagamitan sa proseso ay simple at may mataas na rate ng sputtering.

Sa isang solong sistema ng target na katod, ang daluyan na dalas ng AC magnetron sputtering ay may parehong paglabas ng singil at epekto ng pag -iwas sa arko bilang pulse magnetron sputtering. Ang daluyan ng dalas na teknolohiya ng sputtering ng AC ay inilalapat din sa twin target (twin2mag) sputtering system. Ang daluyan ng dalas AC twin target sputtering ay upang ikonekta ang dalawang output dulo ng medium frequency AC power supply sa kani -kanilang mga cathode ng saradong magnetic field na hindi balanseng sputtering dobleng target. Samakatuwid, ang mga alternatibong boltahe na may kabaligtaran na mga phase ay ayon sa pagkakabanggit sa dobleng target, at isang pares ng mga magnetron sputtering target na halili ay naging mga cathode at anod.

Ang twin target sputtering na teknolohiya ay lubos na nagpapabuti sa katatagan ng magnetron sputtering operation, na maiiwasan ang akumulasyon ng mga singil sa lason na target na ibabaw, na nagiging sanhi ng problema ng pag -aapoy ng arko sa target na ibabaw at ang paglaho ng anode. Ilatag ang pundasyon para sa paggawa ng masa.

Magnetron sputtering coating machine

Ang multi-arc ion at sputtering coatings ay maaaring ideposito sa isang malawak na hanay ng mga kulay. Ang saklaw ng mga kulay ay maaaring higit na mapahusay sa pamamagitan ng pagpapakilala ng mga reaktibo na gas sa silid sa panahon ng proseso ng pag -aalis. Ang malawak na ginagamit na reaktibo na gas para sa pandekorasyon na coatings ay nitrogen, oxygen, argon o acetylene. Ang pandekorasyon na coatings ay ginawa sa isang tiyak na saklaw ng kulay, depende sa ratio ng metal-to-gas sa patong at ang istraktura ng patong. Parehong mga salik na ito ay maaaring mabago sa pamamagitan ng pagbabago ng mga parameter ng pag -aalis.

Bago ang pag -aalis, ang mga bahagi ay nalinis upang ang ibabaw ay walang alikabok o mga impurities sa kemikal. Kapag nagsimula ang proseso ng patong, ang lahat ng mga nauugnay na mga parameter ng proseso ay patuloy na sinusubaybayan at kinokontrol ng isang awtomatikong sistema ng control ng computer.

Ibahagi: