Pagsingaw ng vacuum coating machine at pisikal na prinsipyo- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Pagsingaw ng vacuum coating machine at pisikal na prinsipyo

Ang pagsingaw Vacuum coating machine ay pangunahing binubuo ng isang vacuum coating chamber at isang vacuum pumping system. Mayroong mga mapagkukunan ng pagsingaw (ibig sabihin ng mga heaters ng pagsingaw), mga substrate at mga may hawak ng substrate, mga electrode rod, power supplies, crucibles, substrate heaters, exhaust system, atbp sa vacuum chamber.

Ang materyal na patong ay inilalagay sa mapagkukunan ng pagsingaw sa silid ng vacuum. Sa ilalim ng mataas na mga kondisyon ng vacuum, ang mapagkukunan ng pagsingaw ay pinainit upang mag -evaporate ito. Kapag ang ibig sabihin ng libreng landas ng mga molekula ng singaw ay mas malaki kaysa sa linear na laki ng silid ng vacuum, ang mga atomo at molekula ng singaw ng pelikula ay magbabad mula sa mapagkukunan ng pagsingaw. Matapos makatakas ang ibabaw ng mapagkukunan, bihira itong mabangga at hadlangan ng iba pang mga molekula o atoms, at maaaring direktang maabot ang ibabaw ng substrate na ma -plate. Dahil sa mababang temperatura ng substrate, ang mga particle ng singaw ng materyal na pelikula ay nagpapahintulot dito upang makabuo ng isang pelikula.

Upang mapagbuti ang pagdirikit sa pagitan ng mga evaporated molekula at substrate, ang substrate ay maaaring maisaaktibo sa pamamagitan ng naaangkop na paglilinis ng pag -init o ion. Ang pisikal na proseso ng vacuum evaporation coating mula sa materyal na pagsingaw, transportasyon hanggang sa pag -aalis at pagbuo ng pelikula ay ang mga sumusunod:

1. Gumamit ng iba't ibang mga pamamaraan upang mai -convert ang iba pang mga anyo ng enerhiya sa enerhiya ng init, painitin ang materyal ng pelikula upang mag -evaporate o kahanga -hanga, at maging mga gas na mga particle (atoms, molekula o mga grupo ng atom) na may isang tiyak na enerhiya (0.1 ~ 0.3EV):

2. Ang mga gas na mga particle ay nag -iiwan sa ibabaw ng materyal na lamad at dinala sa ibabaw ng substrate sa isang tuwid na linya na may malaking bilis ng paggalaw nang walang pagbangga;

3. Ang mga gasolina na mga particle na umaabot sa ibabaw ng substrate condense at nucleate at lumago sa isang solidong pelikula;