Paano kinokontrol ng malaking multi-arc ion coating machine ang rate ng pag-aalis upang matiyak ang pare-pareho na kalidad ng patong?

Ang arko kasalukuyang ay isang mahalagang parameter sa a Malaking multi-arc ion coating machine , dahil direktang nakakaimpluwensya ito sa bilang ng mga ion na nabuo mula sa target na materyal. Sa pamamagitan ng pagkontrol sa kasalukuyang arko, maaaring ayusin ng makina ang proseso ng ionization, tinitiyak na ang isang sapat na bilang ng mga sisingilin na mga particle ay inilabas upang magdeposito sa substrate. Ang isang mas mataas na arko kasalukuyang ay humahantong sa isang mas mataas na rate ng ionization, na nagreresulta sa isang mas mabilis na rate ng pag -aalis. Sa kabaligtaran, ang isang mas mababang arko kasalukuyang ay magbabawas ng ion flux at pabagalin ang rate ng pag -aalis. Ang tumpak na kontrol ng arko kasalukuyang tumutulong upang matiyak na ang proseso ng patong ay matatag at na ang rate ng pag -aalis ay nananatiling pare -pareho sa buong operasyon, na pumipigil sa mga hindi pagkakapare -pareho sa kapal ng patong at kalidad.

Sa isang multi-arc ion coating system, ang boltahe ng substrate bias ay gumaganap ng isang kritikal na papel sa pagkontrol ng enerhiya ng mga papasok na ions. Sa pamamagitan ng paglalapat ng isang negatibong boltahe ng bias sa substrate, ang mga ion ay naaakit patungo sa ibabaw, kung saan nakakakuha sila ng enerhiya ng kinetic. Ang kinokontrol na pambobomba ng ion ay hindi lamang nagpapabuti sa pagdikit ng patong ngunit nakakaimpluwensya rin sa rate ng pag -aalis. Ang mas mataas na bias boltahe ay nagpapabilis ng mga ion, pagpapahusay ng rate ng pag -aalis at pagtaguyod ng mas matindi, mas pantay na coatings. Ang mga mas mababang bias boltahe ay nagbabawas ng enerhiya ng mga ion, na maaaring magresulta sa mas mabagal na mga rate ng pag -aalis ngunit maaaring mag -ambag sa mas mataas na kalidad na coatings na may mas pinong mga istraktura. Ang pag-aayos ng boltahe ng bias ng substrate ay nagbibigay-daan sa pag-aayos ng rate ng pag-aalis batay sa nais na mga katangian ng patong, tulad ng katigasan, lakas ng pagdirikit, o pagtatapos ng ibabaw.

Ang presyon ng pag -aalis, na tumutukoy sa presyon ng gas sa loob ng silid ng vacuum, ay makabuluhang nakakaapekto sa rate at kalidad ng pag -aalis. Sa isang silid ng vacuum, ang mga ionized particle ay malayang naglalakbay patungo sa substrate, at tinutukoy ng presyon ng gas ang rate ng mga pagbangga sa pagitan ng mga molekula ng mga ions at gas, pati na rin ang ibig sabihin ng libreng landas ng mga ion. Sa mas mababang mga panggigipit, mas mabilis ang paglalakbay ng mga ions at may mas mataas na enerhiya sa pag -abot sa substrate, na humahantong sa isang mas mataas na rate ng pag -aalis. Gayunpaman, ang labis na mababang mga panggigipit ay maaaring humantong sa pagbuo ng hindi maayos na pagsunod o magaspang na coatings. Sa kaibahan, ang mas mataas na panggigipit ay nagpapabagal sa paggalaw ng ion at bawasan ang mga rate ng pag -aalis ngunit maaaring mapahusay ang pagdidikit at pagkakapareho ng patong. Ang pinong kontrol ng presyon ng pag -aalis ay mahalaga sa pagbabalanse ng rate ng pag -aalis na may kalidad ng patong, tinitiyak na ang parehong mga parameter ay nakakatugon sa mga kinakailangang pagtutukoy para sa inilaan na aplikasyon.

Ang materyal na komposisyon ng target sa malaking multi-arc ion coating machine ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa rate ng pag-aalis. Ang iba't ibang mga materyales, tulad ng titanium, aluminyo, chromium, o haluang metal, ay may natatanging mga katangian ng ionization. Halimbawa, ang mga metal na may mas mababang enerhiya ng ionization ay maaaring mangailangan ng mas mataas na mga alon ng arko upang makamit ang mahusay na ionization, habang ang mga materyales na may mas mataas na mga threshold ng ionization ay maaaring mangailangan ng mga pagsasaayos sa mga antas ng kapangyarihan upang makamit ang pare -pareho na pag -aalis. Kinokontrol ng makina ang kapangyarihan na ibinibigay sa target batay sa mga materyal na katangian nito, tinitiyak ang isang matatag at kinokontrol na proseso ng pag -aalis. Ang komposisyon ng target ay nakakaapekto din sa katigasan ng pangwakas na patong, paglaban sa pagsusuot, at iba pang mga katangian ng ibabaw, na nakakaimpluwensya sa rate ng pag -aalis upang ma -optimize ang mga katangiang ito. Maaaring awtomatikong ayusin ng makina ang mga setting ng kuryente ayon sa target na materyal upang mapanatili ang isang pare -pareho na rate ng patong.

Ang malaking multi-arc ion coating machine ay gumagamit ng maraming mga arko upang sabay na ionize ang iba't ibang mga target sa loob ng silid. Ang mga arko na ito ay dapat na coordinated upang matiyak na ang ionized material ay idineposito nang pantay sa buong substrate. Ang bawat arko ay nagpapatakbo nang nakapag -iisa, ngunit ang kanilang pinagsamang ion flux ay dapat na maingat na pinamamahalaan upang maiwasan ang hindi pantay na pamamahagi ng patong, na maaaring humantong sa mga pagkakaiba -iba sa kapal at kalidad. Sa pamamagitan ng pag -aayos ng bilang ng mga aktibong arko at ang kanilang mga indibidwal na setting ng kuryente, maaaring balansehin ng makina ang flux ng ion sa buong ibabaw, tinitiyak na ang rate ng pag -aalis ay nananatiling pare -pareho. Pinapayagan din ng coordinated control para sa pag -target ng mga tukoy na lugar sa kumplikado o malalaking mga substrate, tinitiyak na ang kapal ng patong ay pantay, kahit na ang materyal ay hindi isang simpleng geometric na hugis. Pinipigilan ng Wastong Arc Management ang mga depekto tulad ng mga hotspot o hindi pantay na pag -aalis, sa gayon ay mapapabuti ang pangkalahatang kalidad ng patong.