Paano nakamit ang temperatura ng control ng PVD coating machine sa panahon ng proseso ng patong upang matiyak na nakamit ang nais na mga katangian ng materyal?

Sa a PVD coating machine , Ang kontrol sa temperatura ay kritikal para sa parehong substrate at ang materyal na patong. Ang temperatura ng substrate ay kailangang maingat na kontrolado upang matiyak ang pinakamainam na pagdirikit at upang maiwasan ang anumang pinsala sa thermal sa mga sensitibong bahagi. Karaniwan, ang temperatura ay pinananatili sa pagitan ng 100 ° C at 500 ° C depende sa materyal na pinahiran. Para sa mga metal, ang mas mataas na temperatura ay maaaring kailanganin upang maisulong ang mas mahusay na pagdirikit at kalidad ng pelikula, habang ang mas pinong mga materyales tulad ng plastik ay nangangailangan ng mas mababang temperatura upang maiwasan ang pag -war o pagkasira. Ang mga elemento ng pag -init o mga may hawak ng substrate sa loob ng silid ay madalas na ginagamit upang makontrol ito, na nagpapahintulot sa tumpak na regulasyon ng temperatura upang mapanatili ang tamang mga kondisyon para sa proseso ng pag -aalis. Katulad nito, ang materyal na patong (tulad ng metal o ceramic) ay singaw sa mapagkukunan ng pagsingaw, kung saan ang pagpapanatili ng isang sapat na mapagkukunan ng init ay nagsisiguro na ang materyal ay singaw sa isang pare -pareho na rate, tinitiyak ang pagkakapareho sa kapal at kalidad ng patong.

Ang presyon ng silid ng vacuum sa loob ng makina ng patong ng PVD ay isa pang mahalagang kadahilanan sa pagkamit ng nais na mga katangian ng patong. Ang mga proseso ng PVD ay karaniwang nangyayari sa mababang mga panggigipit (mula sa 10^-3 hanggang 10^-7 torr), na may kontrol na presyon gamit ang mga bomba ng vacuum upang lumikha ng pinakamainam na kapaligiran para sa pag-aalis. Ang presyon ay dapat kontrolin upang matiyak ang tamang pag -ionize ng mga gas, na kritikal sa pagbuo ng isang matatag na plasma na tumutulong sa pagsunod sa singaw na materyal sa substrate. Kung ang presyon ay masyadong mababa, magkakaroon ng hindi sapat na ionization, na nagreresulta sa hindi magandang pagdirikit at mga depekto sa patong. Sa kabaligtaran, kung ang presyon ay masyadong mataas, ang mga singaw na mga particle ay magkakalat, na nagiging sanhi ng hindi magandang kalidad ng pelikula, mas kaunting pagkakapareho, at mga potensyal na depekto. Ang presyon ay karaniwang nababagay batay sa uri ng proseso ng PVD na ginagamit, tulad ng sputtering o pagsingaw, at maaaring mag -iba ayon sa nais na mga katangian ng patong.

Ang rate ng pag -aalis - ang bilis kung saan ang materyal na patong ay idineposito sa substrate - ay dapat na kontrolado sa pamamagitan ng pag -aayos ng temperatura at presyon sa panahon ng proseso ng patong. Sa mas mababang temperatura, ang rate ng pag -aalis ay maaaring mas mabagal, na nagpapahintulot sa isang mas maayos at mas pantay na patong. Sa kabilang banda, ang mas mataas na temperatura ay maaaring dagdagan ang rate ng pag -aalis, ngunit dapat itong balanse upang maiwasan ang mga isyu tulad ng stress sa pelikula o hindi kanais -nais na pagbuo ng microstructure. Ang presyon ng kapaligiran ay maaari ring maimpluwensyahan ang rate ng pag -aalis. Ang mga mas mababang presyur ay nagreresulta sa mas mabilis na singaw at mga rate ng pag -aalis, samantalang ang mas mataas na presyur ay nagpapabagal sa rate, na nagpapahintulot sa mas mahusay na kontrol sa kapal ng patong at pagkakapare -pareho.

Sa maraming mga proseso ng PVD, lalo na sa magnetron sputtering, ang plasma ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa pag -aalis. Ang isang matatag na plasma ay nabuo sa pamamagitan ng pag -ionize ng gas sa silid sa ilalim ng mababang presyon. Ang temperatura at kontrol ng presyon ay mahalaga upang makabuo ng isang pare -pareho at matatag na estado ng plasma. Ang plasma na ito ay tumutulong sa pagpapahusay ng enerhiya ng mga singaw na mga particle, na nagbibigay -daan sa kanila na mag -bonding nang mas epektibo sa ibabaw ng substrate. Ang sobrang presyur ay maaaring gawing hindi matatag ang plasma, na humahantong sa isang hindi pantay na pelikula, habang ang masyadong mababang presyon ay maaaring magresulta sa hindi sapat na ionization, binabawasan ang kalidad at pagdirikit ng patong.