Paano malulutas ang hindi pagkakapareho ng mga magnetron sputtered films?

, Ang pagkakapareho at direksyon ng magnetic field ay dapat matiyak upang makabuo ng isang medyo pantay na larangan ng magnetic field.

Pangalawa, ang pagkakapareho ng presyon ng hangin ay dapat matiyak hangga't maaari. Kapag nagdidisenyo ng silid ng vacuum, ang posisyon ng pag -install ng vacuum pump, ang paraan Ang pagsingaw ng vacuum coating machine pabrika ng proseso ng paggamit ng gas at ang layout ng proseso ng pipe sa silid ay dapat isaalang -alang.

Pangatlo, dahil ang magnetic field at air pressure ay hindi maaaring maging ganap na perpekto, ang magnetic field ay maaaring mabayaran ng hindi pagkakapareho ng presyon ng hangin upang gawin ang pangwakas na uniporme ng pelikula.

Pang -apat, ang distansya ng target na base ay isang mahalagang kadahilanan na nakakaapekto sa pagkakapareho.

Ibahagi: