Paano matutukoy ng mga operator ang mga maagang palatandaan ng pagbabara ng coating machine nozzle?

Bakit Nangyayari ang Pagbara ng Nozzle sa Unang Lugar

Bago mahuli ng operator ang mga palatandaan ng maagang babala, nakakatulong itong maunawaan kung ano ang sanhi ng pagbara. Ang mga coating nozzle at evaporation crucibles ay nag-iipon ng nalalabi para sa ilang mahuhulaan na dahilan: ang condensed vapor re-solidifying malapit sa aperture, oxidized particulate mula sa source material na napakaraming beses nang nagamit muli, at outgassing byproducts mula sa substrate na hindi nalinis nang maayos bago i-load. Sa isang tipikal makinang metalizing , ang aluminum wire na nagpapakain sa pamamagitan ng isang bangkang pinainit ng resistensya ay maaaring mag-iwan ng micro-splatter na unti-unting nagpapaliit sa daanan ng vapor stream. Sa paglipas ng dose-dosenang mga cycle, binabago ng pagpapaliit na iyon ang geometry ng pattern ng deposition, na kung ano mismo ang unang makikita sa mga pagbabasa na tinalakay sa ibaba.

Ang halumigmig, kalinisan ng silid, at kadalisayan ng pinagmumulan ng materyal ay lahat ay nakakaapekto sa kung gaano kabilis naganap ang pagbuo na ito. Ang isang pasilidad na tumatakbo sa 99.9% purong aluminum wire ay makakakita ng mas kaunting nalalabi na akumulasyon kaysa sa isang gumagamit ng na-reclaim o mas mababang uri ng stock, at ito ay isa sa mga pinaka-nakakaligtaan na variable kapag sinubukan ng mga operator na mag-diagnose ng mga umuulit na isyu sa pagbabara.

Binabasa ang Quartz Crystal Deposition Monitor

Ang deposition rate monitor ay nagbibigay ng pangalawang, independiyenteng kumpirmasyon ng pagbara bago lumitaw ang anumang nakikitang depekto sa substrate. Ang isang malusog na nozzle o evaporation source ay gumagawa ng linear, predictable rate curve. Kapag pinaliit ng residue ang aperture, ang rate curve ay kadalasang bumababa o bumababa 10% hanggang 25% kumpara sa target na rate ng recipe, kahit na ang power input sa source ay nananatiling pare-pareho.

Mga operator na tumatakbo a makinang metalizing para sa reflective film o packaging substrates ay dapat na partikular na panoorin para sa isang rate na nagsisimula nang malakas at lumiliit sa kalagitnaan ng cycle, dahil ang pattern na ito ay madalas na tumuturo sa unti-unting pagbara sa halip na isang mapagkukunan ng kakulangan ng materyal. Kung ang rate ay bumabawi pagkatapos mapunan muli ang crucible ngunit bumaba muli sa isang katulad na punto sa susunod na cycle, ang nauulit na pattern ay isang malakas na senyales na ang nozzle geometry mismo ay nangangailangan ng paglilinis sa halip na ang materyal na supply.

1. Itala ang target na rate ng deposition para sa recipe bago simulan ang cycle.
2. Ihambing ang pagbabasa ng live rate sa 25%, 50%, at 75% na marka ng cycle.
3. I-flag ang anumang matagal na pagbaba na higit sa 10% para sa inspeksyon sa susunod na naka-iskedyul na paghinto.
4. Cross-check ang rate deviation laban sa vacuum pressure log para sa parehong cycle.

Pag-inspeksyon sa Pagkakapareho ng Kapal ng Substrate

Kapag naproseso na ang materyal, ang pagma-map ng kapal sa lapad ng substrate ay nagpapakita ng mga pattern ng pagbara na maaaring hindi nasagot ng instrumentation ang kalagitnaan ng cycle. Ang isang maayos na gumaganang nozzle ay gumagawa ng isang pare-parehong patong sa loob ±5% ng target na kapal sa lapad ng substrate. Kapag ang pagbabara ay isinasagawa, ang mga pagbabasa sa kapal ay madalas na nagpapakita ng isang naisalokal na pagbaba ng 10% o higit pa nang direkta sa ibaba ng bahagi ng apektadong bahagi ng nozzle, habang ang natitirang bahagi ng substrate ay nananatili sa loob ng tolerance.

Mga Karaniwang Pagkakamali na Nagagawa ng mga Operator Kapag Sinusuri ang Pagbara

Maraming umuulit na pagkakamali ang nakakaantala ng maagang pagtuklas at ginagawang ganap na paghinto ng produksyon ang isang maliit na isyu. Una, ang mga operator kung minsan ay nag-a-attribute ng mabagal na deposition rate sa mababang pinagmulang materyal lamang nang hindi sinusuri ang vacuum log para sa isang kaukulang pagbabago ng presyon, na nawawala ang signal ng pagbara. Pangalawa, ang pagmamapa ng kapal ay madalas na ginagawang napakadalas upang mahuli ang isang umuusbong na trend, lalo na sa mga linyang tumatakbo nang mahaba, walang patid na mga batch. Pangatlo, ang visual na inspeksyon sa pamamagitan ng viewport ay madalas na nilaktawan sa panahon ng high-speed na pagtakbo, kahit na ang limang segundong sulyap ay maaaring magpakita ng hindi pantay na vapor plume na walang sinusubaybayan na sensor.

Ang pagwawasto sa mga gawi na ito ay hindi nangangailangan ng mga bagong kagamitan sa karamihan ng mga kaso. Nangangailangan ito ng pare-parehong checklist na inilapat sa mga nakapirming agwat, na sinamahan ng isang log na nagbibigay-daan sa mga operator na ihambing ang mga pagbabasa ngayon laban sa sariling kasaysayan ng makina sa halip na isang generic na factory-default na baseline.