Ano ang mga pangunahing sangkap ng isang vacuum coating system?

1. Vacuum Chamber

kagamitan sa patong Pangunahin ay may dalawang form: tuluy-tuloy na linya ng paggawa ng patong at single-chamber coating machine, hindi kinakalawang na asero na materyal na pagmamanupaktura, arcon arc welding, paggamot sa kemikal na paggamot ng kemikal, at iba't ibang mga pagtutukoy ng mga interface ng flange ay welded sa mga sangkap ng silid ng vacuum.

2, bahagi ng pagkuha ng vacuum

Sa teknolohiya ng vacuum, ang bahagi ng pagkuha ng vacuum ay isang mahalagang bahagi. Ang pagkuha ng vacuum ay hindi maaaring makamit ng isang solong kagamitan at pamamaraan ng vacuum. Maraming mga bomba ang dapat gamitin sa kumbinasyon, tulad ng mga mekanikal na bomba, mga bomba ng ugat, mga molekular na sistema ng bomba, atbp.

3, bahagi ng pagsukat ng vacuum

Ang bahagi ng pagsukat ng vacuum ng sistema ng vacuum ay upang masukat ang presyon sa silid ng vacuum. Tulad ng isang vacuum pump, walang vacuum gauge na maaaring masukat ang buong saklaw ng vacuum, kaya ang mga tao ay gumawa ng maraming uri ng mga gauge ng vacuum ayon sa iba't ibang mga prinsipyo at mga kinakailangan. Tulad ng thermocouple meter, ionization meter, pirani meter, atbp.

4. Bahagi ng Power Supply

Ang target na supply ng kuryente ay pangunahing kasama ang DC power supply, intermediate frequency power supply, pulse power supply, at radio frequency power supply (RF). Kasama sa mga karaniwang tagagawa ng supply ng kuryente ang AE, ADL, HOTTINGER, atbp.

5. Proseso ng sistema ng pag -input ng gas

Ang mga proseso ng gas, tulad ng argon (AR), Krypton (KR), nitrogen (N2), acetylene (C2H2), methane (CH4), hydrogen (H2), oxygen (O2), atbp, ay karaniwang ibinibigay ng mga cylinders ng gas. Ang pagbawas ng presyon ng gas, balbula ng stop ng gas, pipeline, meter ng daloy ng gas, solenoid valve, piezoelectric valve, at pagkatapos ay sa silid ng vacuum. Ang bentahe ng sistema ng pag -input ng gas na ito ay ang pipeline ay simple at malinaw, at madaling ayusin o palitan ang silindro ng gas. Ang mga coating machine ay hindi nakakaapekto sa bawat isa. Mayroon ding mga kaso kung saan ang maraming mga coating machine ay nagbabahagi ng isang hanay ng mga cylinders ng gas. Ang sitwasyong ito ay maaaring makita sa ilang mga malalaking workshop sa coating. Ang bentahe nito ay binabawasan nito ang pag -okupado ng mga cylinders ng gas, pinag -isang pagpaplano at pinag -isang layout. Ang kawalan ay dahil sa pagtaas ng bilang ng mga kasukasuan, ang posibilidad ng pagtaas ng pagtagas ng hangin. Bukod dito, ang mga coating machine ay makagambala sa bawat isa, at ang pipeline ng isang coating machine ay maaaring tumagas ng hangin, na maaaring makaapekto sa kalidad ng produkto ng iba pang mga patong machine. Bilang karagdagan, kapag pinapalitan ang mga cylinder ng gas, kinakailangan upang matiyak na ang lahat ng mga makina ay nasa isang estado na hindi gas.

6. Bahagi ng paghahatid ng mekanikal

Ang patong ay nangangailangan na ang kapal ng periphery ay dapat na pantay. Samakatuwid, dapat mayroong tatlong pag -ikot sa proseso ng patong upang matugunan ang mga kinakailangan. Iyon ay, habang ang malaking talahanayan ng workpiece ay kinakailangan upang paikutin (I), ang maliit na carrier ng workpiece ay umiikot din (II), at ang workpiece mismo ay maaaring paikutin nang sabay (iii). Sa mekanikal na disenyo, sa pangkalahatan ay may isang malaking gear sa pagmamaneho sa gitna ng ilalim ng malaking turntable ng workpiece, at ilang maliit na mga gulong ng bituin na kasama nito. Kung ang produkto ay dapat paikutin, ang workpiece ay karaniwang pinaikot ng isang shift fork.

7, bahagi ng pag -init at pagsukat ng temperatura

Ang mga kagamitan sa patong sa pangkalahatan ay may mga heaters sa iba't ibang mga posisyon, at ang mga thermocouples ay ginagamit upang masukat at kontrolin ang temperatura. Gayunpaman, dahil ang posisyon ng clamping ng thermocouple ay naiiba sa posisyon ng workpiece, ang pagbabasa ng temperatura ay hindi maaaring maging tunay na temperatura ng workpiece. Upang masukat ang totoong temperatura ng workpiece, maraming mga pamamaraan, maaari kang mag -install ng mataas na temperatura ng pagsubok sa temperatura o thermocouple meter sa workpiece.

8. Ang pagsingaw ng Ion at pinagmulan ng sputtering

Ang mapagkukunan ng pagsingaw ng plating ng multi-arc ay karaniwang nasa hugis ng isang bilog na cake, na karaniwang kilala bilang isang target na cake ng cake, at mayroon ding mga hugis-parihaba na target na multi-arc. Ang isang magnet ay naka -install sa target na base. Sa pamamagitan ng paglipat ng magnet pabalik -balik, ang intensity ng magnetic field ay nabago, at ang paglipat ng bilis at tilapon ng arc spot ay maaaring nababagay. Upang mabawasan ang temperatura ng target at ang target na base, ang target na base ay dapat na patuloy na ibinibigay ng paglamig ng tubig. Upang matiyak ang mataas na elektrikal at thermal conductivity sa pagitan ng target at target base, ang isang lata gasket ay maaari ring idagdag sa pagitan ng target at ang target na base. Ang magnetron sputtering coating sa pangkalahatan ay gumagamit ng hugis -parihaba o cylindrical sputtering cathode.

9, sistema ng paglamig ng tubig

Karaniwan ay binubuo ng malamig na tower ng tubig, machine ng tubig ng yelo, pump ng tubig, atbp.

10, Industrial Control System