Ano ang gumaganang prinsipyo ng Cathodic arc ion plating?

Una sa lahat, ang arko na kapansin -pansin na karayom ​​(anode) na may positibong potensyal ay malapit sa target (katod) na may negatibong potensyal. Kapag ang distansya sa pagitan ng anode at katod ay maliit na sapat, ang gas sa pagitan ng dalawang electrodes ay masisira, na bumubuo ng isang arko kasalukuyang, na katulad ng arko na kapansin -pansin ng electric welding. Sa oras na ito, ang bahagi ng N2 ay ionized upang mabuo ang mga cations at electron.

Naakit ng puwersa ng electric field, ang nitrogen cation ay lilipad sa katod malapit sa target, at ang elektron ay lilipad sa karayom ​​ng pag -aapoy ng arko. Gayunpaman, ang masa ng ion ay mas malaki kaysa sa elektron. Samakatuwid, sa ilalim ng parehong puwersa ng kuryente, ang distansya ng paggalaw ng elektron ay mas malaki kaysa sa cation. Samakatuwid, kapag ang elektron ay umabot sa anode, ang ion ay hindi maabot ang target ng katod, ngunit lilipad sa karayom ​​ng pag -aapoy ng arko ang positibong layer ng akumulasyon ng ion ay nabuo malapit sa target na ibabaw.

Ang distansya sa pagitan ng cation at ang ibabaw ng target na katod ay napakaliit, hanggang sa antas ng micron. Ayon sa E = U / D, makikita na ang electric field sa espasyo ay mataas sa oras na ito, na "hilahin" ang mga electron sa labas ng target. Ang "hinila" na mga electron ay lumipad mula sa target ng katod sa positibong layer ng akumulasyon ng ion, na bumubuo ng isang kasalukuyang. Ang stacking layer ay konektado sa target na ibabaw, at ang isang arko ay nabuo malapit sa target na ibabaw.

Kasabay nito, ang mga positibong ions ay maaakit ng ibabaw ng target na katod, na ginagawang bomba ng positibong ions ang target na ibabaw at makagawa ng sputtering. Tulad ng mga particle ng pelikula alinman sa evaporated o sputtered ay kailangang dumaan sa positibong layer ng akumulasyon ng ion, at sa proseso ng paglipad sa labas ng target na katod, ang mga particle ng pelikula ay maaapektuhan ng arko sa target na ibabaw, kaya ang mga particle na dumating sa workpiece ay ionic state.

Ang negatibong boltahe ng bias ay karaniwang inilalapat sa workpiece, kaya ang mga positibong ions ay lumipad sa workpiece sa ilalim ng pagkilos ng puwersa ng electric field, at ibomba ang workpiece Ang mga tagagawa ng coating machine ng DLC . Ang pambobomba na ito ay magpapabuti sa pagdirikit ng pelikula at gawing siksik ang friction, na kung saan ay napaka -kapaki -pakinabang upang mapabuti ang kalidad ng pelikula.

Kung nais mong malaman ang higit pa, maaari ka ring makipag -ugnay sa amin.

Ningbo Danko Vacuum Technology co., Ltd.

Sara

Telepono: 86-15867869979

Email: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979